氣相沉積爐設備特點是什么　　氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料，也可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等?！　⊙b料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設備特點如下：　　1.多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍??；　　3.氣相沉積爐設備自動化高，關鍵執(zhí)行電氣件采用進口；操作直觀、簡便，觸摸屏經(jīng)過開發(fā)，可動態(tài)顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入?！　?.采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強。

　　真空燒結爐中真空泵的替換步驟有哪些 　　真空燒結爐中真空泵的清洗：泵油隨著真空燒結爐中真空泵的運轉惡劣，因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況，并及時替換真空燒結爐中泵油。替換真空燒結爐中泵油的周期：每六個月?lián)Q油清洗一次。泵油替換步驟如下： 　　1、打開泵的吸氣管，5秒后使其開始運行。真空燒結爐中泵內(nèi)剩下的泵油容易被排除。 　　2、先拆下真空真空燒結爐的排氣管，再打開放油閥，然后倒出泵油。 　　3、關閉排油閥，把新的真空泵油從加油口注入。 　　4、如果真空燒結爐中泵油的污染非常嚴重，必須添加些新泵油，通過幾分鐘運轉使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必須反復多清洗幾遍。 　　5、換上新泵油后，讓真空燒結爐中泵開機運行，等真空燒結爐的溫度升高以后在確認真空極限壓力。 　　6、檢修真空甩帶爐過程需清洗過濾網(wǎng)。