氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過(guò)濾系統(tǒng)、操作平臺(tái)等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板，既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強(qiáng)爐體壁抗壓能力，爐體上設(shè)置電極座、測(cè)溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。 　　加熱及保溫層，發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體，分三個(gè)加熱區(qū)，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護(hù)非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強(qiáng)度，采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時(shí)抽真空，并設(shè)置手動(dòng)及自動(dòng)壓差閥?？紤]真空放電現(xiàn)象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　今天簡(jiǎn)單和大家說(shuō)說(shuō)熔鹽電解爐中電解槽、電解爐與上掛陽(yáng)極的組裝。 　　熔鹽電解爐的電解槽的組裝。通常，制取金屬釹的電解槽就是石墨坩堝，將它放入鋼板卷制的保護(hù)殼內(nèi)，然后再在石墨坩堝與保護(hù)殼之間的空隙填緊石墨粉，將保護(hù)殼的上部鐵環(huán)蓋于石墨坩堝的頂部，鐵環(huán)與保護(hù)殼之間的縫隙可用鐵絲、石棉繩或硅鋁纖維棉塞緊，以防空氣進(jìn)入而燒壞石墨坩堝，*上部放上剛玉絕緣圈。 　　熔鹽電解爐砌筑的目的，一方面是要求將電解槽保護(hù)好，使氧氣盡可能少地進(jìn)入電解槽的外壁腐蝕保護(hù)殼;二來(lái)是要將電解槽保溫，所以電解槽的四周及底部用保溫材料來(lái)充填堅(jiān)實(shí) 　　熔鹽電解爐的上掛陽(yáng)極，開(kāi)始時(shí)是使用筒狀單陽(yáng)極，后來(lái)為了節(jié)約石墨材料，更換時(shí)方便，生產(chǎn)廠(chǎng)家均改用分散塊狀多陽(yáng)極，其實(shí)，上掛陽(yáng)極的組裝相比較還是較簡(jiǎn)單，主要將陽(yáng)極導(dǎo)電板接觸面和陽(yáng)極接觸面用砂布打亮，盡可能接觸面電阻盡可能地小，然后將陽(yáng)極打孔，然后螺絲再將其固定，露在外面部位為了防空氣燒壞，可用鐵皮包好。