氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規(guī)燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應的基礎上?！　?、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤?！　?、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現(xiàn)象。　　5、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置。　　7、控制電源開關置于斷開位置?！　?、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭?！　?、將報警按鈕置于打開位置。　　10、平面圖完成設備循環(huán)冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空速凝爐真空系統(tǒng)的選用與組成 　　根據(jù)真空速凝爐的使用技術條件和所要求的真空度，選擇適合的真空泵。再根據(jù)真空泵的類型、規(guī)格選配相應的真空閥門、真空管道等，從而組成高溫真空釬焊爐所需要的真空系統(tǒng)。一般被抽容積與真空泵的抽氣速率有一定的關系。當確定速凝爐的容積后，便可查出相應的抽氣速率，再由此選用真空泵。 　　真空系統(tǒng)的組成： 　　真空速凝爐的真空系統(tǒng)，一般由真空泵、真空閥門、真空測量儀表、冷阱、管道等部分組成，下面介紹幾種常用的真空系統(tǒng)。 　　由于，高真空系統(tǒng)及帶有增壓泵的高真空系統(tǒng)，適用于真空度在L 3X10-2?6.6 X。如預抽井式真空爐多釆用適用于真空度在2?1333Pa范圍的這個系統(tǒng)。另外，真空速凝爐具有機械增壓泵的真空系統(tǒng)，適用于真空度在1.33?3X107Pa范圍的。所以，這種爐子廣泛采用此系統(tǒng)。