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CVD氣相沉積爐

產品特點
CVI/CVD設備是C/C復合材料行業(yè)的主要設備,設備通過熱解碳源氣體,而使預制體獲得致密處理或涂層處理,其中快速氣相沉積設備(CVI),具有更高的碳利用率,以及更高的生產效率。性能特點1.結構形式:立式或臥式。2.沉積室構成:C/C復合材料或石墨材料。3.進口智能溫控儀表,可實現精準跟蹤測溫。4.加熱方式:感應或電阻加熱(石墨發(fā)熱體);電阻加熱方式可獲得更大的裝爐量;快速氣相沉積設備(CVI)具有更加靈活的配置和更高的效率。5.獨特的尾氣處理裝置,可實現長時間可靠運行。6.配有水、電、氣綜合故障聲光報警裝置,配置結構獨特、限值可調的安全閥,保證設備運行平穩(wěn)、安全。性能參數型號CVICVD*高設計溫度1200℃1500℃常用溫度950~1100℃1050~1200℃滿功率升溫時間~1000℃≤3h~1000℃≤5h溫度均勻性(1000℃時)≤±10℃≤±10℃冷態(tài)空爐極限真空度≤10Pa≤10Pa壓升率≤5Pa/h≤5Pa/h控溫精度±1℃±1℃加熱電源1000~1500KVA350~800KVA連續(xù)運行時間≥300小時≥300小時

產品概述

CVI/CVD設備是C/C復合材料行業(yè)的主要設備,設備通過熱解碳源氣體,而使預制體獲得致密處理或涂層處理,其中快速氣相沉積設備(CVI),具有更高的碳利用率,以及更高的生產效率。

性能特點

1.結構形式:立式或臥式。

2.沉積室構成:C/C復合材料或石墨材料。

3.進口智能溫控儀表,可實現精準跟蹤測溫。

4.加熱方式:感應或電阻加熱(石墨發(fā)熱體);電阻加熱方式可獲得更大的裝爐量;快速氣相沉積設備(CVI)具有更加靈活的配置和更高的效率。

5.獨特的尾氣處理裝置,可實現長時間可靠運行。

6.配有水、電、氣綜合故障聲光報警裝置,配置結構獨特、限值可調的安全閥,保證設備運行平穩(wěn)、安全。

性能參數

型號CVICVD
*高設計溫度1200℃1500℃
常用溫度950~1100℃1050~1200℃
滿功率升溫時間~1000℃≤3h~1000℃≤5h
溫度均勻性(1000℃時)≤±10℃≤±10℃
冷態(tài)空爐極限真空度≤10Pa≤10Pa
壓升率≤5Pa/h≤5Pa/h
控溫精度±1℃±1℃
加熱電源1000~1500KVA350~800KVA
連續(xù)運行時間≥300小時≥300小時


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